Новые горизонты литографии: нанопоры от IMEC

Литографические машины ASML, известные своими возможностями в производстве полупроводников, теперь нашли необычное применение благодаря компании IMEC. Они начали создавать нанопоры — микроскопические отверстия диаметром в несколько нанометров, которые могут значительно улучшить биомедицинские технологии. Например, такие поры в 10 000 раз тоньше человеческого волоса способны служить молекулярными контрольными точками для датчиков, фиксируя электрические сигналы, когда через них проходят молекулы, такие как вирусы или ДНК. Ранее процесс создания нанопор был сложным и дорогим, ограничиваясь лабораторными условиями. Однако IMEC разработала метод массового производства с использованием EUV-литографии, что позволяет создавать однородные массивы нанопор на 300-миллиметровых пластинах из нитрида кремния. Это открывает путь к внедрению технологий в клиническую практику, улучшая диагностику и персонализированную медицину.