В России ученые из Центра испытаний функциональных материалов Института квантовых технологий МФТИ разработали новый принтер для аддитивного производства микроэлектронных компонентов. В отличие от традиционных технологий, этот принтер использует метод сухой аэрозольной печати, который не требует жидких чернил, растворителей или связующих веществ. Наночастицы синтезируются непосредственно во время печати с помощью импульсного газового разряда и укладываются на подложку сфокусированным аэрозольным пучком.
Технология позволяет существенно сократить затраты и упростить процесс производства по сравнению с традиционной фотолитографией, которая требует сложного оборудования и агрессивных химикатов. Принтер объединяет четыре ключевых этапа: генерацию наночастиц в газовом разряде, их лазерную модификацию, фокусировку аэрозоля и лазерное спекание на подложке. Это обеспечивает создание плотных и высокопроводящих микроструктур без необходимости последующей обработки.
Кроме того, устройство может работать в различных режимах, включая формирование плазмонных наноструктур для спектроскопии и производство пористых слоев для газовых сенсоров. Новая технология открывает перспективы быстрой и чистой печати проводящих дорожек, электродов и других элементов микроэлектроники на одном оборудовании.
По словам научного сотрудника Владислава Борисова, разработка уже прошла государственные испытания и готова к серийному производству. Это позволит значительно сократить время и стоимость изготовления микросхем без риска загрязнения и с улучшенными эксплуатационными характеристиками.
